高濃度臭氧化學性質特別活潑，是一種強氧化劑，在一定濃度下可迅速殺滅空氣中的細菌。沒有任何有毒殘留，不會形成二次污染，被譽為“最清潔的氧化劑和消毒劑”。其工作原理是利用高壓電離反應，利用空氣中的部分氧氣分解為聚合臭氧，通過氧的同素異形轉變過程獲得臭氧，此外，還可以使用電解水的方式獲得臭氧。臭氧消毒器產品與技術廣泛應用于工業和市政水與污水處理、能源和船舶生活飲用水，工廠污水排放處理，工業氧化系統，食品加工與保鮮過程中以及醫藥合成和空間滅菌等領域。

      速凍食品、冷飲食品、肉蛋奶制品加工車間與包裝車間利用臭氧消毒效果好。同時可去除異味污染。按照衛生部消毒技術規范的要求，對食品空氣消毒的臭氧濃度是10ppm，即20mg/m3濃度的臭氧，作用30min，對自然菌的殺滅率達到90％以上。

      臭氧消毒所需時間短，操作簡單，消毒后無需再清洗，若要對100件餐具消毒(供8-10人用餐)：常規程序需用約140分鐘，流程如下：去污(15分鐘)清毒浸泡(90分鐘)清洗(15分鐘)消毒柜消毒(20分鐘)使用；若用臭氧氣消毒，一般只需38分鐘。流程如下：去污(15分鐘)清洗(15分鐘)消毒浸泡(8分鐘)使用；若用臭氧水消毒，僅需30分鐘。流程如下：去污(15分鐘)清洗消毒浸泡(15分鐘)使用。